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 Creation of SiOF films with SiF4/O2 plasmas: From gas-surface interactions to film formation 用SiF4/O2等离子体制备SiOF薄膜：从气体-表面相互作用到薄膜形成
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Jianming Zhang; Ellen R. Fisher 出版日期：2004-06-23 |
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