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标题
Polymer brush as adhesion promoter for EUV patterning
作为用于EUV图案化的粘合促进剂的聚合物刷
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材料科学 粘附 平版印刷术 极紫外光刻 抵抗 纳米技术 聚合物 基质（水族馆） 光刻 图层（电子） 光刻胶 嫁接 光电子学 复合材料 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2297113
DOI
10.1117/12.2297113 doi
其它 期刊：
作者：Jing Guo; Anuja De Silva; Yann Mignot; Yongan Xu; Abraham Arceo de la Peña; et al
出版日期：2018-03-19
求助人
许乐 在 2024-12-19 11:19:22 发布自上海，悬赏 20 积分
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