Electron trapping efficiency of a magnetron sputtering cathode

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标题	Electron trapping efficiency of a magnetron sputtering cathode 磁控溅射阴极的电子俘获效率相关领域阴极俘获电子腔磁控管材料科学溅射沉积光电子学溅射工程物理纳米技术物理电气工程地理薄膜核物理学工程类林业
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6595/ad52c0
DOI	10.1088/1361-6595/ad52c0 doi
其它	期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：M. Salahshoor 出版日期：2024-05-31
求助人	koman 在 2025-01-03 16:54:25 发布自江苏，悬赏 10 积分
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