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标题
Wet etching in β-Ga2O3 bulk single crystals
β-Ga2O3块体单晶的湿法刻蚀
相关领域
薄脆饼 蚀刻（微加工） 材料科学 干法蚀刻 半导体 各向同性腐蚀 反应离子刻蚀 光电子学 纳米技术 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1039/d1ce01499d
DOI
10.1039/d1ce01499d doi
其它 期刊：CrystEngComm
作者：Zhu Jin; Yingying Liu; Ning Xia; Xiangwei Guo; Zijian Hong; et al
出版日期：2022-01-01
求助人
Dylan 在 2024-11-04 09:17:10 发布自广东，悬赏 10 积分
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