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Passivation effect on the surface characteristics and corrosion properties of yttrium oxide films undergoing SF6 plasma treatment
钝化对SF6等离子体处理氧化钇薄膜表面特性和腐蚀性能的影响
相关领域
材料科学
钝化
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期刊:Ceramics International 作者:Wei‐Kai Wang; Sung‐Yu Wang; Yuhao Zhang; Shih-Yung Huang 出版日期:2022-03-28 |
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