Improvement in structural and dielectric properties of sputtered Ta2O5 thin film by post-deposition annealing

已完结

文献求助详情

标题	Improvement in structural and dielectric properties of sputtered Ta2O5 thin film by post-deposition annealing 沉积后退火对溅射Ta2O5薄膜结构和介电性能的改善相关领域退火（玻璃）材料科学薄膜电介质沉积（地质）纳米技术工程物理光电子学复合材料物理地质学沉积物古生物学
网址	https://doi.org/10.1007/s00339-024-07881-1
DOI	10.1007/s00339-024-07881-1 doi
其它	期刊：Applied Physics A 作者：Kiran Kumar Sahoo; D. Pradhan; Anurag Gartia; Subhojit Ghosh; Jyoti Prakash Kar 出版日期：2024-09-10
求助人	北极星162 在 2024-12-15 20:28:21 发布自辽宁，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

不忘初心，牢记使命，为科研工作者服务

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

活动

『应助活动周』获奖名单已公布 🔥 (2025-4-2)

更新

『中科院2025期刊分区』已更新 (2025-3-23)

更新

『即时热点』模块已上线 (2025-2-28)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 在水一方上传了应助文件

刚刚; 慕子默完成签到，获得积分10

2秒前; lucy完成签到，获得积分10

2秒前; Ideal完成签到，获得积分0

3秒前; 心灵美代芙发布了新的文献求助10

3秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

5秒前; 整齐百褶裙发布了新的文献求助10

5秒前; 田様的应助被susususu采纳，获得10

5秒前; 慕青上传了应助文件

7秒前; Wzy完成签到，获得积分10

8秒前; Hello上传了应助文件

8秒前; cdercder上传了应助文件

8秒前; 乐乐上传了应助文件

10秒前; zombleq完成签到，获得积分10

11秒前; sanyecai发布了新的文献求助10

11秒前; Bleser完成签到，获得积分10

11秒前; hhhblabla上传了应助文件

13秒前; 小勇仔发布了新的文献求助10

13秒前; 小喵发布了新的文献求助10

13秒前; 草履旅发布了新的文献求助10

13秒前; 彭于晏上传了应助文件

14秒前; Lucas的应助被sanyecai采纳，获得10

19秒前; 充电宝的应助被草履旅采纳，获得10

20秒前; 所所的应助被小喵采纳，获得10

20秒前; 晓筠发布了新的文献求助10

21秒前; jieli完成签到，获得积分10

23秒前; clamon完成签到，获得积分10

24秒前; 山云完成签到，获得积分10

24秒前; QOP的应助被llyy采纳，获得10

25秒前; 赘婿的应助被ccccc采纳，获得30

25秒前; 上官雨时发布了新的文献求助20

26秒前; 左旋多巴完成签到，获得积分10

27秒前; Daisykiller上传了应助文件

28秒前; tang完成签到，获得积分20

30秒前; 赘婿上传了应助文件

32秒前; 赘婿上传了应助文件

34秒前; Jasper的应助被小小怪采纳，获得10

35秒前; ccccc发布了新的文献求助30

36秒前; Maomao发布了新的文献求助10

38秒前; Orange的应助被Daisy采纳，获得10

41秒前