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Improvement in structural and dielectric properties of sputtered Ta2O5 thin film by post-deposition annealing

退火（玻璃）材料科学薄膜电介质沉积（地质）纳米技术工程物理光电子学复合材料物理地质学沉积物古生物学

作者

Kiran Kumar Sahoo,D. Pradhan,Anurag Gartia,Subhojit Ghosh,Jyoti Prakash Kar

出处

期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2024-09-10 卷期号：130 (10)

标识

DOI：10.1007/s00339-024-07881-1

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