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标题
Photocatalytic reactive distillation - A novel process intensification approach for purification of electronic-grade silicon tetrachloride
光催化反应蒸馏——一种提纯电子级四氯化硅的新工艺强化方法
相关领域
四氯化硅 反应蒸馏 过程(计算) 蒸馏 材料科学 杂质 薄脆饼 化学工程 工艺工程 化学 有机化学 纳米技术 计算机科学 光电子学 工程类 操作系统
网址
DOI
10.1016/j.cej.2023.145947 doi
其它 期刊:Chemical Engineering Journal
作者:Xiong Zhao; Zhengkun Hou; Shuhu Guo; Renze Shi; Ye Wan; et al
出版日期:2023-09-16
求助人
丰富向松 在 2024-11-11 22:18:27 发布自湖南,悬赏 10 积分
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