标题 |
Bulk and surface passivation of silicon solar cells accomplished by silicon nitride deposited on industrial scale by microwave PECVD
微波PECVD工业规模氮化硅对硅太阳电池的本体和表面钝化
相关领域
钝化
氮化硅
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
光电子学
硅
晶体硅
薄脆饼
太阳能电池
图层(电子)
纳米技术
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其它 |
期刊:Progress in Photovoltaics Research and Applications 作者:W.J. Soppe; H.C. Rieffe; A.W. Weeber 出版日期:2005-01-01 |
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