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 Advanced electric-field scanning probe lithography on molecular resist using active cantilever 利用主动悬臂梁在分子抗蚀剂上的先进电场扫描探针光刻
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期刊：Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS 作者：Marcus Kaestner; Cemal Aydogan; Tzvetan Ivanov; Ahmad Ahmad; Tihomir Angelov; et al 出版日期：2015-06-10 |
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