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标题
[高分] Measurements of Two-dimensional Gratings Using a Metrological Atomic Force Microscope with uncertainty Evaluation
用计量原子力显微镜测量二维光栅并进行不确定度评定
相关领域
纳米计量学 光学 计量学 显微镜 放大倍数 测量不确定度 正交性 校准 材料科学 倾斜（摄像机） 垂直的 物理 数学 几何学 量子力学
网址
http://www.dbpia.co.kr/Journal/ArticleDetail/NODE00978566
DOI
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其它 期刊：International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
作者：Jong-Ahn Kim; Jae Wan Kim; Chu-Shik Kang; Tae Bong Eom
出版日期：2008-04-01
求助人
tang 在 2025-01-08 15:44:08 发布自中国，悬赏 500 积分
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