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Poly‐SiOx Passivating Contacts with Plasma‐Assisted N2O Oxidation of Silicon (PANO‐SiOx)
等离子体辅助N2O氧化硅(pano-SiOx)的聚SiOx钝化触点
相关领域
钝化
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
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硅
非晶硅
化学气相沉积
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化学工程
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其它 |
期刊:Solar RRL 作者:Zhirong Yao; Guangtao Yang; Can Han; Paul Procel; Engin Özkol; et al 出版日期:2023-07-14 |
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