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标题
Cobalt Metal ALD: Understanding the Mechanism and Role of Zinc Alkyl Precursors as Reductants for Low-Resistivity Co Thin Films
钴金属ALD：理解烷基锌前体作为低电阻率Co薄膜还原剂的机理和作用
相关领域
烷基 薄膜 原子层沉积 基质（水族馆） 反应性（心理学） 锌 化学 金属 钴 材料科学 无机化学 化学工程 纳米技术 有机化学 替代医学 病理 工程类 地质学 海洋学 医学
网址
https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.1c00877
DOI
10.1021/acs.chemmater.1c00877 doi
其它 期刊：Chemistry of Materials
作者：David Zanders; Ji Liu; Jorit Obenlüneschloß; Claudia Bock; Detlef Rogalla; et al
出版日期：2021-06-18
求助人
Ice 在 2025-03-31 10:30:54 发布自福建，悬赏 10 积分
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