Experimental and theoretical analysis of single-sided and double-sided chemical mechanical polishing of sapphire wafers

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标题	Experimental and theoretical analysis of single-sided and double-sided chemical mechanical polishing of sapphire wafers 蓝宝石单面和双面化学机械抛光实验与理论分析相关领域蓝宝石化学机械平面化抛光薄脆饼材料科学表面粗糙度表面完整性表面光洁度光电子学复合材料光学激光器物理
网址	https://doi.org/10.1007/s00170-021-08404-5
DOI	10.1007/s00170-021-08404-5 doi
其它	期刊：The International Journal of Advanced Manufacturing Technology 作者：Zhongyang Li; Zhaohui Deng; Jimin Ge; Tao Liu; Linlin Wan 出版日期：2022-01-14
求助人	佳足在 2024-10-15 16:17:55 发布自天津，悬赏 10 积分
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