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 Submicrometer ${\rm Nb}/{\rm Al}{-}{\rm AlO}_{\rm x}/{\rm Nb}$ Integrated Circuit Fabrication Process for Quantum Computing Applications 用于量子计算应用的亚微米${\rm Nb}/{\rm Al}{-}{\rm AlO}_{\rm x}/{\rm Nb}$集成电路制造工艺
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期刊：IEEE Transactions on Applied Superconductivity 作者：Bruce Bumble; A. Fung; Anupama B. Kaul; A. W. Kleinsasser; G.L. Kerber; et al 出版日期：2009-06-01 |
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