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 300-mm Monolithic Silicon Photonics Foundry Technology 300mm单片硅光子学铸造技术
相关领域
硅光子学
光子学
绝缘体上的硅
材料科学
硅
薄脆饼
光电子学
铸造厂
CMOS芯片
计算机科学
工程类
机械工程
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| 其它 |
期刊：IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 作者：Ken Giewont; Karen Nummy; Frederick A. Anderson; Javier Ayala; Tymon Barwicz; et al 出版日期：2019-09-01 |
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