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 Effect of Nonionic Polymer as Corrosion Inhibitor in Alkaline Media for Polycrystalline Ge2Sb2Te5 Chemical Mechanical Planarization 非离子聚合物在碱性介质中作为缓蚀剂对多晶Ge2Sb2Te5化学机械平坦化的影响
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期刊：Electrochemical and Solid-State Letters 作者：Jong-Young Cho; Hao Cui; Jin-Hyung Park; Hyung Soon Park; Jea‐Gun Park 出版日期：2011-01-01 |
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