A Deep Learning Model for Robust Wafer Fault Monitoring With Sensor Measurement Noise

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标题	A Deep Learning Model for Robust Wafer Fault Monitoring With Sensor Measurement Noise 具有传感器测量噪声的鲁棒晶圆故障监测的深度学习模型相关领域人工智能故障检测与隔离特征提取模式识别（心理学）自编码分类器（UML）预处理器噪音（视频）状态监测计算机科学数据预处理降噪噪声测量工程类电子工程深度学习电气工程图像（数学）执行机构
网址	https://doi.org/10.1109/tsm.2016.2628865
DOI	10.1109/tsm.2016.2628865 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Hoyeop Lee; Youngju Kim; Chang Ouk Kim 出版日期：2016-11-16
求助人	风中莫英在 2025-01-03 13:43:41 发布自河北，悬赏 10 积分
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