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 Investigation of the influence of hardmask morphology on bowing effect in nano-scale silicon plasma etching process 纳米硅等离子体刻蚀过程中硬掩模形貌对弯曲效应影响的研究
相关领域
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蚀刻（微加工）
材料科学
等离子体刻蚀
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神学
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