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[高分] Effect of interface strength on electromigration-induced inlaid copper interconnect degradation: Experiment and simulation
界面强度对电迁移诱导的镶嵌铜互连退化的影响:实验与模拟
相关领域
电迁移
材料科学
铜
互连
透射电子显微镜
扫描电子显微镜
降级(电信)
铜互连
单层
复合材料
光电子学
冶金
纳米技术
电子工程
工程类
计算机科学
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