Piezoresistive 4H-Silicon Carbide (SiC) pressure sensor

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标题	Piezoresistive 4H-Silicon Carbide (SiC) pressure sensor 压阻式4H碳化硅（SiC）压力传感器相关领域材料科学压阻效应碳化硅薄脆饼蚀刻（微加工）图层（电子）反应离子刻蚀光电子学压力传感器硅微电子机械系统复合材料热力学物理
网址	https://doi.org/10.1109/sensors47087.2021.9639506
DOI	10.1109/sensors47087.2021.9639506 doi
其它	期刊：作者：Piotr Mackowiak; Kolja Erbacher; Manuel Baeuscher; Michael Schiffer; Klaus‐Dieter Lang; et al 出版日期：2021-10-31
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