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标题
An innovative methodology for monitoring the sacrificial layer removal process in MEMS structures
一种监测MEMS结构中牺牲层去除过程的创新方法
相关领域
微电子机械系统 材料科学 图层（电子） 过程（计算） 工艺工程 纳米技术 系统工程 计算机科学 工程类 操作系统
网址
https://doi.org/10.1088/1402-4896/ad2662
DOI
10.1088/1402-4896/ad2662 doi
其它 期刊：Physica Scripta
作者：Hamed Barati; Farshad Barazandeh; Alireza Jabari; Mohammad Akbari
出版日期：2024-02-05
求助人
happynewyear 在 2024-11-26 19:55:11 发布自江苏，悬赏 10 积分
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