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 Correlation between etch pits formed by molten KOH+Na2O2 etching and dislocation types in heavily doped n+-4H–SiC studied by X-ray topography 用X射线形貌研究熔融KOH+Na2O2刻蚀形成的刻蚀坑与重掺杂n+-4H-SiC中位错类型的相关性
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