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Correlation between etch pits formed by molten KOH+Na2O2 etching and dislocation types in heavily doped n+-4H–SiC studied by X-ray topography

蚀刻（微加工）位错材料科学兴奋剂结晶学线程（蛋白质序列） GSM演进的增强数据速率 X射线腐蚀坑密度矿物学复合材料化学光学光电子学物理计算机科学图层（电子）电信生物化学蛋白质结构

作者

Yongzhao Yao,Yukari Ishikawa,Yoshihiro Sugawara,Koji Sato,Katsunori Danno,Hiroshi Suzuki,Takeshi Bessho,S. Yamaguchi,Koichi Nishikawa

出处

期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2012-12-19 卷期号：364: 7-10 被引量：19

标识

DOI：10.1016/j.jcrysgro.2012.12.011

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