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 Silicon nitride directional coupler-based polarization beam splitter utilizing shallow ridge waveguides for improved fabrication tolerance 利用浅脊波导提高制造公差的基于氮化硅定向耦合器的偏振分束器
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材料科学
分路器
氮化硅
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功率分配器和定向耦合器
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期刊：Chinese Journal of Physics 作者：Po-Hsiang Chiu; Yijia Huang; Yongjun Chen; Zixuan Xu; Hsing-Hsiang Wang; et al 出版日期：2024-10-13 |
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