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Silicon nitride directional coupler-based polarization beam splitter utilizing shallow ridge waveguides for improved fabrication tolerance

制作 材料科学 分路器 氮化硅 山脊 极化（电化学） 分束器 功率分配器和定向耦合器 光学 光电子学 硅 地质学 物理 医学 古生物学 激光器 化学 替代医学 物理化学 病理
作者
Po-Hsiang Chiu,Yijia Huang,Yongjun Chen,Zixuan Xu,Hsing-Hsiang Wang,Wen-Hsien Huang,Chun‐Ta Wang
出处
期刊：Chinese Journal of Physics [Elsevier]
日期：2024-10-13 卷期号：92: 1078-1084
标识
DOI：10.1016/j.cjph.2024.10.014
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