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标题
Effects of Hydrogen Implantation on SOI Wafers: Role of Ion Dose and Annealing
氢注入对SOI晶片的影响:离子剂量和退火的作用
网址
DOI
10.1063/1.4741495 doi
求助人
光亮的棒棒糖 在 2025-01-18 23:38:39 发布自江苏,悬赏 10 积分
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