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 Deep-learning-assisted sidewall profiling white light interferometry system for accurately measuring 3D profiles and surface roughness on the groove sidewalls of precision components 深度学习辅助侧壁轮廓白光干涉测量系统，用于精确测量精密部件凹槽侧壁的3D轮廓和表面粗糙度
相关领域
白光干涉法
干涉测量
光学
材料科学
表面粗糙度
表面光洁度
沟槽（工程）
机械加工
仿形（计算机编程）
计量系统
计算机科学
物理
冶金
复合材料
天文
操作系统
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| 其它 |
期刊：Optics Letters 作者：Xiangyu Zhao; Jinsong Zhang; Renlong Zhu; Yijun Xie; Zhengqiong Dong; et al 出版日期：2024-07-30 |
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