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 ON THE EFFECT OF OXYGEN ON PLASMA CHEMICAL KINETICS IN CF4 + O2 AND C4F8 + O2 GAS MIXTURES 氧对CF4+O2和C4F8+O2混合气体等离子体化学动力学的影响
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期刊：IZVESTIYA VYSSHIKH UCHEBNYKH ZAVEDENIY KHIMIYA KHIMICHESKAYA TEKHNOLOGIYA 作者：Alexander Efremov; Daria E. Bashmakova; Kwang‐Ho Kwon 出版日期：2024-01-01 |
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