Finite element simulation and experimental investigation of in-situ laser-assisted diamond turning of monocrystalline silicon

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标题	Finite element simulation and experimental investigation of in-situ laser-assisted diamond turning of monocrystalline silicon 原位激光辅助金刚石车削单晶硅的有限元模拟与实验研究相关领域单晶硅硅原位钻石金刚石车削材料科学激光器有限元法光学光电子学冶金化学物理工程类结构工程有机化学
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6641/ad40c8
DOI	10.1088/1361-6641/ad40c8 doi
其它	期刊：Semiconductor science and technology 作者：Wangjie Hu; Xuesen Zhao; Tao Sun; Jun Jie Zhang 出版日期：2024-04-19
求助人	sivenmoon 在 2024-06-05 15:40:19 发布自河南，悬赏 10 积分
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