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Annealing temperature controlled crystallization mechanism and properties of Ga 2 O 3 film in forming gas atmosphere
Ga 2 O3薄膜在形成气体气氛中的退火温控结晶机理及性能
相关领域
结晶
镓
退火(玻璃)
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薄膜
形成气体
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氧气
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期刊:Journal of the American Ceramic Society 作者:Chen Wang; Shi‐Wei Li; Wei‐Hang Fan; Yu‐Chao Zhang; Hai‐Jun Lin; et al 出版日期:2022-01-29 |
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