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标题
Compound mechanical and chemical-mechanical polishing processing technique for single-crystal silicon carbide
单晶碳化硅机械化学机械复合抛光工艺
相关领域
抛光 化学机械平面化 材料科学 表面粗糙度 碳化硅 机械加工 Crystal（编程语言） 表面光洁度 碳化物 复合材料 冶金 计算机科学 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2023.12.002
DOI
10.1016/j.precisioneng.2023.12.002 doi
其它 期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
作者：Xinxing Ban; Zhuangzhi Tian; J. Zhu; Tao Duan; Shanbo Zheng; et al
出版日期：2023-12-01
求助人
优雅羽毛 在 2023-12-21 16:09:56 发布自吉林，悬赏 20 积分
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