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标题
Fast and Accurate EUVL Thick-Mask Model Based on Multi Channel Attention Network
基于多通道注意力网络的快速精确EUVL厚掩模模型
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频道（广播） 电子工程 极紫外光刻 计算机科学 材料科学 工程类 光电子学 电信
网址
https://doi.org/10.1109/tsm.2025.3539300
DOI
10.1109/tsm.2025.3539300 doi
其它 期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者：Chengzhen Yu; Sheng Liu; Wensheng Chen; Xu Ma
出版日期：2025-01-01
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勤劳怜寒 在 2025-02-13 10:55:40 发布自四川，悬赏 10 积分
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