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标题
Attention-enhanced conditional variational autoencoder integrating 3D plasma etching simulation for etching process optimization
集成三维等离子体刻蚀模拟的注意力增强条件变分自动编码器用于刻蚀工艺优化
相关领域
自编码 蚀刻（微加工） 等离子体 过程（计算） 等离子体刻蚀 材料科学 计算机科学 光电子学 人工智能 纳米技术 物理 深度学习 量子力学 图层（电子） 操作系统
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004166
DOI
10.1116/6.0004166 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：J. D. Guo; Kun Ren; Dong Ni; Dawei Gao
出版日期：2025-02-07
求助人
勤劳怜寒 在 2025-02-13 10:52:00 发布自四川，悬赏 10 积分
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