| 标题 |
 Synergistic effect of abrasive friction and glycine on improving chemical mechanical polishing performance of single-crystal GaN substrate 磨料摩擦和甘氨酸对提高单晶GaN衬底化学机械抛光性能的协同效应
相关领域
材料科学
抛光
磨料
化学机械平面化
基质（水族馆）
氮化镓
表面粗糙度
Crystal（编程语言）
单晶
钻石
半导体
复合材料
冶金
化学工程
光电子学
结晶学
图层（电子）
计算机科学
化学
工程类
程序设计语言
地质学
海洋学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Ceramics International 作者：Congming Ke; Shoulin Liu; Yiao Pang; Yongping Wei; Yaping Wu; et al 出版日期：2024-03-20 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
不配.
坚强的广山
劲秉
柳叶刀小猪
一一
杳鸢
彭于彦祖
lalala
毛豆
嗯哼
paparazzi221
个性的紫菜
tuanheqi
子车茗
不懈奋进
HCLonely
en
爱静静
ziyue
一只饺子
皖公网安备34019202002308
