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标题
Low-voltage operation and high endurance of 5-nm ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 capacitors
5nm铁电Hf0.5Zr 0.5 O2电容器的低压工作和高耐久性
相关领域
光电子学 铁电电容器 电介质 电容 电压
网址
DOI
10.1063/1.5052012 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Si Joon Kim; Jaidah Mohan; Harrison Sejoon Kim; Jaebeom Lee; Chadwin D. Young; et al
出版日期:2018-10-30
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