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Direct growth of ferroelectric orthorhombic ZrO2 on Ru by atomic layer deposition at 300 °C
300 °C原子层沉积法在钌上直接生长铁电斜方相ZrO2
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期刊:Materials Horizons 作者:M. Ko; Ji Su Park; Soyun Joo; Seungbum Hong; Jong Min Yuk; et al 出版日期:2024-01-01 |
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