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标题
Direct growth of ferroelectric orthorhombic ZrO2 on Ru by atomic layer deposition at 300 °C
300 °C原子层沉积法在钌上直接生长铁电斜方相ZrO2
相关领域
正交晶系 原子层沉积 铁电性 材料科学 沉积(地质) 图层(电子) 结晶学 分析化学(期刊) 纳米技术 光电子学 化学 电介质 晶体结构 古生物学 沉积物 色谱法 生物
网址
DOI
10.1039/d4mh01119h doi
其它 期刊:Materials Horizons
作者:M. Ko; Ji Su Park; Soyun Joo; Seungbum Hong; Jong Min Yuk; et al
出版日期:2024-01-01
求助人
DTP 在 2024-11-19 17:26:17 发布自湖南,悬赏 10 积分
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