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 Evaluation of the quality of commercial silicon carbide wafers by an optical non-destructive inspection technique 用光学无损检测技术评价工业碳化硅晶片的质量
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Tatsuko Hatakeyama; Kyoichi Ichinoseki; K. Fukuda; Nobuhiro Higuchi; K. Arai 出版日期：2008-03-01 |
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