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 On the breakdown process of capacitively coupled plasma in carbon tetrafluoride 电容耦合等离子体在四氟化碳中的击穿过程
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期刊：Journal of physics. D, Applied physics 作者：Hao Wu; Zhaoyu Chen; Zhijiang Wang; Bo Rao; Wei Jiang; et al 出版日期：2022-03-30 |
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