标题 |
Study on Planarization Layer Uniformity of Large-aperture Optical Elements Based on Ion Beam Sputtering
基于离子束溅镀的大口径光学元件平坦化层均匀性研究
相关领域
化学机械平面化
溅射
材料科学
图层(电子)
光圈(计算机存储器)
离子束
梁(结构)
光电子学
光学
聚焦离子束
离子
复合材料
薄膜
纳米技术
物理
声学
量子力学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:ACTA PHOTONICA SINICA 作者:冯时 Feng Shi; 付秀华 Fu Xiuhua; 王大森 Wang Dasen; 李晓静 LI Xiao-jing; 聂凤明 NIE Feng-ming; et al 出版日期:2019-01-01 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|