Study on effect of the surface variation of colloidal silica abrasive during chemical mechanical polishing of sapphire

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标题	Study on effect of the surface variation of colloidal silica abrasive during chemical mechanical polishing of sapphire 硅胶磨料表面变化对蓝宝石化学机械抛光的影响相关领域材料科学泥浆动态光散射抛光粒径磨料透射电子显微镜粒子（生态学）表面粗糙度化学机械平面化纳米颗粒复合材料胶体二氧化硅化学工程蓝宝石矿物学纳米技术光学化学工程类地质学激光器物理海洋学涂层
网址	https://doi.org/10.7567/jjap.56.07kb01
DOI	10.7567/jjap.56.07kb01 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Natthaphon Bun-Athuek; Yutaka Yoshimoto; Koya Sakai; Panart Khajornrungruang; Keisuke Suzuki 出版日期：2017-06-21
求助人	爱听歌婴在 2024-03-16 10:40:19 发布自陕西，悬赏 10 积分
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