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标题
Synergetic effect of gas compositions on material properties of n‐type nanocrystalline silicon oxide prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition
气体组分对等离子体增强化学气相沉积制备n型纳米氧化硅材料性能的协同效应
相关领域
纳米晶材料 材料科学 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 氧化硅 等离子体 沉积(地质) 化学工程 氧化物 纳米晶硅 纳米技术 晶体硅 冶金 氮化硅 地质学 古生物学 物理 量子力学 沉积物 非晶硅 工程类
网址
DOI
10.1002/solr.202400095 doi
其它 期刊:Solar RRL
作者:Daohong Qiu; Weiyuan Duan; Andreas Lambertz; Karsten Bittkau; Uwe Rau; et al
出版日期:2024-03-13
求助人
Tip 在 2024-03-15 09:59:39 发布自江苏,悬赏 10 积分
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