Synergetic effect of gas compositions on material properties of n‐type nanocrystalline silicon oxide prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition

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标题	Synergetic effect of gas compositions on material properties of n‐type nanocrystalline silicon oxide prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition 气体组分对等离子体增强化学气相沉积制备n型纳米氧化硅材料性能的协同效应相关领域纳米晶材料材料科学化学气相沉积等离子体增强化学气相沉积氧化硅等离子体沉积（地质）化学工程硅氧化物纳米晶硅纳米技术晶体硅冶金氮化硅地质学古生物学物理量子力学沉积物非晶硅工程类
网址	https://doi.org/10.1002/solr.202400095
DOI	10.1002/solr.202400095 doi
其它	期刊：Solar RRL 作者：Daohong Qiu; Weiyuan Duan; Andreas Lambertz; Karsten Bittkau; Uwe Rau; et al 出版日期：2024-03-13
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