发布文献求助
已关闭
  • 文献求助详情
标题
The optical properties of silicon-rich silicon nitride prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition
等离子体增强化学气相沉积富硅氮化硅的光学特性
相关领域
材料科学 折射率 氮化硅 退火（玻璃） 等离子体增强化学气相沉积 硅 光电子学 化学气相沉积 晶体硅 氮化物 图层（电子） 纳米技术 复合材料
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2018.09.029
DOI
10.1016/j.mssp.2018.09.029 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Seiya Yoshinaga; Yasuaki Ishikawa; Yusuke Kawamura; Yuya Nakai; Yukiharu Uraoka
出版日期：2018-10-12
求助人
kaila 在 2024-12-21 19:03:01 发布自北京，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Surface Oxidation of Silicon Nitride Films
  2. The silane depletion fraction as an indicator for the amorphous/crystalline silicon interface passiv...
  3. Characteristic Study of Silicon Nitride Films Deposited by LPCVD and PECVD
  4. Silicon nitrides: Some physico‐chemical properties
  5. Surface Related Phenomena in Integrated PECVD/Ozone‐TEOS SACVD Processes for Sub‐Half Micron Gap F...
  6. Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)
  7. Use of Neural Network to Model the Refractive Property of PECVD Silicon Nitride Films used to Preven...
  8. Recent Research Progress of Carbon Nanotube Arrays Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposi...
  9. Process Research on PECVD SiN-x:H Film for Crystalline Silicon Solar Cells
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 3小时前，求助关闭

    kaila kaila 求助人 Lv11 关闭了本次求助。

    说明 已找到【积分已退回】

  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:03:03 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:03:01 科研通AI机器人（广州）收到请求，开始寻找文献
    19:03:01 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    kaila kaila 求助人 Lv11 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
852的应助被Mayeleven采纳，获得10
2秒前
5秒前
6秒前
mmmmmmgm完成签到 ，获得积分10
6秒前
7秒前
贝壳风铃发布了新的文献求助10
8秒前
10秒前
Ruby发布了新的文献求助30
10秒前
华仔的应助被lulu采纳，获得10
11秒前
硕shuo完成签到，获得积分10
11秒前
12秒前
顾矜的应助被坦率的金针菇采纳，获得10
13秒前
14秒前
清秀的SONG完成签到 ，获得积分10
14秒前
拼死拼活发布了新的文献求助10
14秒前
研友_VZG7GZ的应助被愉快尔烟采纳，获得10
15秒前
penry完成签到，获得积分10
15秒前
vv完成签到 ，获得积分10
16秒前
zhuqiming完成签到，获得积分10
19秒前
一页书完成签到，获得积分10
19秒前
科目三的应助被jjjjjjjjjjj采纳，获得10
20秒前
21秒前
Oreki完成签到，获得积分10
21秒前
哪有你好完成签到，获得积分20
21秒前
22秒前
huayz2024完成签到，获得积分10
23秒前
木棉发布了新的文献求助10
25秒前
25秒前
Sencetich发布了新的文献求助10
25秒前
JamesPei的应助被拼死拼活采纳，获得10
27秒前
27秒前
CC完成签到 ，获得积分10
28秒前
29秒前
脑洞疼的应助被叮咚采纳，获得10
30秒前
0311vv发布了新的文献求助30
30秒前
30秒前
红星路吃饼子的派大星完成签到 ，获得积分10
32秒前
yidi01完成签到，获得积分10
32秒前
penry关注了科研通微信公众号
34秒前
愉快尔烟发布了新的文献求助10
34秒前
高分求助中
The late Devonian Standard Conodont Zonation 2000
歯科矯正学 第7版（或第5版） 1004
Nickel superalloy market size, share, growth, trends, and forecast 2023-2030 1000
Semiconductor Process Reliability in Practice 1000
Smart but Scattered: The Revolutionary Executive Skills Approach to Helping Kids Reach Their Potential (第二版) 1000
Security Awareness: Applying Practical Cybersecurity in Your World 6th Edition 800
PraxisRatgeber: Mantiden: Faszinierende Lauerjäger 700
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3241537
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2886025
关于积分的说明 8241378
捐赠科研通 2554547
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1382645
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 649612
邀请新用户注册赠送积分活动 625279
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通