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标题
Pathfinding the perfect EUV mask: understanding the EUV mask using the hybrid mask model
寻找完美的EUV掩模：使用混合掩模模型理解EUV掩模
相关领域
极紫外光刻 光学 衍射 反射（计算机编程） 材料科学 相（物质） 极端紫外线 物理 计算机科学 量子力学 程序设计语言 激光器
网址
https://doi.org/10.1117/12.2601243
DOI
10.1117/12.2601243 doi
其它 期刊：
作者：Hazem Mesilhy; Peter Evanschitzky; Gerardo Bottiglieri; Eelco van Setten; Claire van Lare; et al
出版日期：2021-09-29
求助人
小张真的困啦 在 2024-10-10 15:11:45 发布自中国，悬赏 20 积分
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