| 标题 |
 Study and application of wright etch in sub-quarter-micron technology 亚四分之一微米工艺中莱特刻蚀的研究与应用
相关领域
微电子
硅
材料科学
薄脆饼
堆积
光电子学
晶体管
蚀刻（微加工）
透射电子显微镜
电气工程
电子工程
电压
纳米技术
工程类
物理
核磁共振
图层（电子）
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：IEEE International Conference on Semiconductor Electronics 作者：S.P. Neo; O.L. Phong; Zhigang Song; Chong Khiam Oh; Kuo-Feng Lo 出版日期：2004-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成，仅限求助人下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
爱静静
Henry
iNk
tianzml0
彭于彦祖
几酌
寻道图强
oceanao
吃不饱星球球长
夏远航
HEIKU
哎嘿
梓泽丘墟
shinysparrow
暮霭沉沉
不配.
互助遵法尚德
张子捷
苏卿
spark810
皖公网安备34019202002308
