Relationship between resist outgassing and EUV witness sample contamination in NXE outgas qualification using electrons and EUV photons

已完结

文献求助详情

标题	Relationship between resist outgassing and EUV witness sample contamination in NXE outgas qualification using electrons and EUV photons 使用电子和EUV光子的NXE脱气鉴定中抗蚀剂脱气与EUV见证样品污染之间的关系相关领域放气极紫外光刻抵抗极端紫外线光子材料科学光学电子真空度物理纳米技术核物理学天文激光器量子力学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2047380
DOI	10.1117/12.2047380 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Ivan Pollentier; A. Tirumala Venkata; Roel Gronheid 出版日期：2014-04-17
求助人	Heidi 在 2024-12-18 15:44:04 发布自美国，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

National Center for Biotechnology Information

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Jasper的应助被禹宛白采纳，获得10

2秒前; 子小孙完成签到，获得积分10

3秒前; 夏青荷发布了新的文献求助10

3秒前; Orange的应助被正直草丛采纳，获得10

4秒前; 小九完成签到，获得积分10

5秒前; xh完成签到，获得积分10

6秒前; 小马甲的应助被张清采纳，获得10

6秒前; 上官若男上传了应助文件

10秒前; Jasper上传了应助文件

10秒前; 哈尔行者完成签到，获得积分10

12秒前; 逍遥完成签到，获得积分10

13秒前; 靓丽的白山发布了新的文献求助10

13秒前; 十一完成签到，获得积分10

13秒前; 万能图书馆的应助被星燃采纳，获得10

15秒前; 无花果上传了应助文件

15秒前; 井野浮的应助被巫马谷梦采纳，获得20

15秒前; 禹宛白发布了新的文献求助10

16秒前; 伯赏人杰发布了新的文献求助10

17秒前; yzy-gc发布了新的文献求助10

17秒前; 周末完成签到，获得积分20

18秒前; 一颗药顽完成签到，获得积分10

19秒前; Vicky发布了新的文献求助10

19秒前; 科研通AI2S的应助被风华采纳，获得10

21秒前; 陈皮发布了新的文献求助10

22秒前; 小马甲上传了应助文件

22秒前; yzy-gc完成签到，获得积分10

22秒前; you完成签到，获得积分10

24秒前; 传奇3的应助被禹宛白采纳，获得10

24秒前; renyun完成签到，获得积分20

24秒前; 教育技术学发布了新的文献求助10

25秒前; 桐桐上传了应助文件

25秒前; 张清发布了新的文献求助10

26秒前; chenting完成签到，获得积分10

26秒前; good琳完成签到，获得积分20

28秒前; 杨浩然发布了新的文献求助10

30秒前; 热心梦易关注了科研通微信公众号

32秒前; 日月同错完成签到，获得积分10

33秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

34秒前; 赘婿的应助被陈皮采纳，获得10

34秒前; 所所上传了应助文件

34秒前