Transport Study of PEALD IGZO TFT at Cryogenic Temperatures down to 6 K - 科研通

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标题	Transport Study of PEALD IGZO TFT at Cryogenic Temperatures down to 6 K 6 K低温下PEALD IGZO TFT的输运研究相关领域薄膜晶体管光电子学材料科学纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1109/vlsitsa60681.2024.10546411
DOI	10.1109/vlsitsa60681.2024.10546411 doi
其它	期刊：作者：Wenhui Wang; Meishan Zhang; Jun Lan; Jiqing Lu; Mei Shen; et al 出版日期：2024-04-22
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