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A Novel Extensional Bulk Mode Resonator with Low Bias Voltages
一种新型低偏压扩展体模谐振器
相关领域
谐振器
材料科学
绝缘体上的硅
偏压
电压
制作
微电子机械系统
振动
谐振器耦合系数
稳健性(进化)
光电子学
声学
硅
电子工程
电气工程
工程类
物理
病理
化学
基因
医学
替代医学
生物化学
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其它 |
期刊:Electronics 作者:Qianqian Jia; Zeji Chen; Wenli Liu; Jing Wang; Yinfang Zhu; et al 出版日期:2022-03-15 |
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