Fused Silica Dual-Shell Gyroscope with In-Plane Actuation by Out-Of-Plane Electrodes Realized Using Glassblowing and Thru-Glass-Vias Fabrication

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标题	Fused Silica Dual-Shell Gyroscope with In-Plane Actuation by Out-Of-Plane Electrodes Realized Using Glassblowing and Thru-Glass-Vias Fabrication 使用玻璃吹制和穿玻璃通孔制造实现面外电极面内驱动的熔丝二氧化硅双壳陀螺仪相关领域制作陀螺仪材料科学电极薄脆饼平面的基质（水族馆）光电子学平面（几何）光学计算机科学物理医学海洋学计算机图形学（图像）地质学量子力学病理数学替代医学几何学
网址	https://doi.org/10.1109/mems51670.2022.9699792
DOI	10.1109/mems51670.2022.9699792 doi
其它	期刊：2022 IEEE 35th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems Conference (MEMS) 作者：Danmeng Wang; Mohammad H. Asadian; Doreen Hii; Andrei M. Shkel 出版日期：2022-01-09
求助人	christal 在 2024-09-04 15:35:43 发布自北京，悬赏 10 积分
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