Dielectric Properties of Porous Reaction-Bonded Silicon Nitride with Different Additives

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标题	Dielectric Properties of Porous Reaction-Bonded Silicon Nitride with Different Additives 相关领域电介质氮化硅材料科学多孔性多孔硅烧结氮化物介电损耗陶瓷硅体积分数复合材料高-κ电介质矿物学冶金化学光电子学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1007/s11664-019-07462-6
DOI	10.1007/s11664-019-07462-6 doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Jie Xu; Fa Luo; Wancheng Zhou 出版日期：2020-03-01
求助人	yujingyang 在 2023-04-14 15:52:22 发布自安徽，悬赏 10 积分
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